隨著先進制程推進、封裝結構復雜化以及大尺寸基板應用發展，半導體檢測正從單一缺陷識別向高精度、高效率、多場景協同演進。單一相機性能已難以滿足不同檢測環節的差異化需求。
Gemini 8KTDI 平臺
1MHz@8K高性能TDI相機，滿足前道檢測極限性能需求?
Gemini 8KTDI 高性能TDI相機系列，通過 1MHz 高速采集能力、以及精密熱管理，實現高速條件下的穩定高信噪比輸出，為前道先進制程提供高速、高信噪比成像能力支撐。
500KHz@8K緊湊型TDI相機，面向后道規模部署優化?
Gemini 8KTDI LT 緊湊型TDI相機系列，采用自然散熱/風冷結構替代風水冷一體化系統，實現體積縮小 64%、重量減輕 75%、功耗降低 50%，為后道檢測設備規模化量產部署提供更高效、更簡潔、更低成本的成像解決方案。
500KHz@16K超寬幅TDI相機，提升大幅面檢測效率
Gemini 16KTDI 超寬幅 TDI 相機系列，憑借更大幅面單次掃描能力，可減少多相機拼接需求，從而降低設備光機結構與算法復雜度，提升檢測吞吐效率、一致性及系統可靠性。
用一套已被驗證的成熟技術體系，筑牢中國半導體檢測的核心能力底座
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Gemini TDI 標準化平臺，是鑫圖多年 TDI 技術積累的系統性釋放，也是與產業伙伴持續協同創新的共同成果。未來，鑫圖將持續以系統級成像解決方案能力，服務中國半導體產業發展，攜手產業伙伴，共筑中國半導體檢測技術新高地。?
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鑫圖 Gemini TDI 標準化平臺即將亮相無錫·第十四屆半導體設備材料及核心部件展（2026年8月31-9月2日），歡迎蒞臨鑫圖展臺 C1-118?交流體驗，共探 TDI 成像技術的多元應用可能。?
26/08/20
