26/09/08激光技術已成為半導體先進制造中的關鍵工藝支撐。隨著晶圓制造、精密加工及檢測環節對激光控制精度要求不斷提升，傳統光束質量分析方案在測量精度、定量分析能力及多波段適配方面面臨新的挑戰。如何實現激光光場信息的精準獲取與量化評價，成為提升設備穩定性與工藝一致性的關鍵需求。
鑫圖XT系列光束質量分析儀，賦能激光系統高精度光束測量
基于科學成像領域長期積累的定量分析技術，以及對半導體檢測場景的深入理解，鑫圖聯合產業伙伴開展光束質量分析方案開發，正式推出XT系列光束質量分析儀。
XT系列融合鑫圖光子測量及系統集成能力，面向激光系統提供從光束信息采集、分析到定量評價的一體化解決方案，助力先進制造領域實現更精準、更可靠的激光質量監控。
一次覆蓋UV至LWIR，構建寬光譜激光測量能力
XT系列光束質量分析儀采用多產品協同布局，本次一共推出3款機型，形成?240 nm?至?14 μm?的寬光譜激光分析能力。
其中，XT105BP?針對?248 nm、266nm?等紫外激光測量優化，XT101BP?覆蓋?400–1100 nm 可見光至近紅外波段，XT102BP?支持?8–14 μm 長波紅外測量，形成從紫外到長波紅外應用波段的產品布局。
科學定量成像能力提升激光質量評價準確性
區別于傳統光斑觀測方案，XT系列依托鑫圖科學成像與光子測量技術積累，通過高精度圖像采集、光子響應校準及定量分析算法，實現對激光光斑形態、能量分布及M2等光束質量參數的精準測量，光束寬度測量精度優于±2%，顯著優于常規工業級光束分析儀。
基于科學級定量測量能力，XT系列可幫助用戶更加準確地評估激光系統性能，提升光束調試、優化及質量控制效率。
深度協同開發能力，加速量檢測設備開發與應用部署
面向半導體量檢測設備對高集成、高穩定性及快速部署的需求，XT系列依托鑫圖系統級協同開發能力，針對設備的空間布局、數據接口及軟件功能進行系統性適配優化。
XT系列最小機型尺寸僅為 29 mm × 29 mm × 13.5 mm，可適配半導體設備狹小光路空間；同時支持標準化通信接口，并提供專業光束分析軟件平臺，加速設備開發與應用部署。
典型應用場景
| 半導體曝光光源系統 |
| 半導體量檢測系統 |
| 精密激光加工系統 |
| 通用光源檢測標定 |
